반도체공학 썸네일형 리스트형 박막(thin film)_surface energy,surface tention 요약 surface의 특성을 주로 갖는 소재로 일반적인 bulk한 물질과 물리적 특성이 다른다. 따라서 다른 관점으로 보아야하는데, 결국 열역학적으로 접근하면 된다. 정의상 가정 Gibbs free energy결함(defect) 내용상 가정 모든 것은 열역학적 안정상태로 간다. 공식 단위 응용 ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! 현재 거의 모든 반도체 소자는 thin film 즉 박막으로 만들어 집니다.박막은 익히 아는 소재의 특성과 달라 다른 관점으로 접근해야할 필요가 있습니다. 즉 자연에서 발견되는 소자 자체의 성질을 bulk라면 박막은 소재의 surface를 본다고 생각하면 됩니다.surface가 thin film deposition의 시작점입니다. 이때 su.. 더보기 Gas flow measurement_MFC 요약 장비에 가스를 주입할때 주입하는 양을 조절하는 장치로 가스가 얼마나 흘러가나를 측정한다. 정의상 가정 기체(gas)_맥스웰-볼츠만 분포(Maxwell-Boltzmann distribution) 내용상 가정 공식 단위 응용 ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! 박막을 증착할때 기체를 조절하는것은 굉장히 중요합니다.어느정도의 Ar가스를 흘리냐 산소가스를 흘리냐에 따라 박막에 성질에 엄청난 영향을 주기 때문입니다.이 가스를 흘리는 양을 조절하는 장비가 있는데 그 측정 방법은 다음과 같습니다.Thermal mass flow방법입니다. source가스의 주입이나 분위기 가스이 주입량을 미세하게 측정하는데 바로 열량으로 조절합니다.tube중간에 뜨거운 필라멘트를 놓고 가스.. 더보기 vacuum gauges 요약 진공의 압력을 측정하는 방법으로 직접측정하는 것과 간접적으로 측정하는 방법이 있다. 정의상 가정 gas flows_Reynold's number, knudsen's number 내용상 가정 공식 단위 응용 ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! 진공을 잡았다고할때 압력을 측정해야합니다.그렇다면 이 압력은 어떻게 측정할까요?? 정말 다양한 방법이 있느나 크게 직접측정하는 것과 간접적으로 측정하는 방법이 있습니다.직접측정은 정확한 값은 알수 없으나 단순하게 측정 가능합니다. 즉 진공인 부분과 아닌부분에 막을 사이에 두고 그 막이 이동하는 정도로 측정을 합니다.반만 간접측정은 열전도율이나, 전류가흐르는 정도 온도변화, 가스가 이온화하는 양을 보는등 다양한 방법으로 측정.. 더보기 Vacuum Pumps 요약 진공과 관련된 장비에는 항상 Vacuum pump가 중요한데, 사용면과 가격에 따라 여러가지 펌프가 존재한다. 장비에 달린 pump를 잘 알아야 고장도 적고 작동법을 이해할 수 있으니 한번쯤 보는것도 나쁘지 않다. 정의상 가정 gas flows_Reynold's number, knudsen's number 내용상 가정 공식 gsa transfer type, entrapment type 단위 응용 ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! 진공 펌프에 대해서 간단하게 원리와, 종류만 소개해보겠습니다. 원리에 따라 진공 펌프는 크게 두가지로 나뉩니다.1. gas transfer type펌프를 사용해 기체분자를 외부로 보내 제거시키는 것입니다. 여기에는 Rotary van.. 더보기 gas flows_Reynold's number, knudsen's number 요약 기체가 흐르는 것을 분석한 지표로 기체가 흐르는 파이프에 대한 지표인 Reynold's number와 knudsen's number가 있다. 이들의 수치에 따라 이용 분야가 다르다. 정의상 가정 기체(gas)_맥스웰-볼츠만 분포(Maxwell-Boltzmann distribution) 내용상 가정 공식 단위 응용 Vaccm Pumps ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! pipe에 gas가 흘러내는 상황에 gas의 특성도 알아야 하지만 pipe의 특성도 무척 중요합니다.따라서 이 기체에 대해 파이프의 영향의 정도를 나타낸것이 knudsen's number입니다. 다음과 같습니다.여기서 d는 파이프의 지름 길이이고 는 기체의 mean free path입니다. 즉 .. 더보기 상(phase) 요약 하나의 계에서 다른 부분과 확실한 경계를 의미할 때 상이라 합니다 정의상 가정 계(system), 결정(crystal) 내용상 가정 공식 단위 응용 미세구조(microstructure) ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! 어떤 물질의 상이라는 것은 두가지 개념이 있습니다. 하나는 물질의 상으로 기체인지, 액체인지, 고체인지 보는 것입니다. 이에 따라 기상, 액상, 고상으로 나뉩니다.다른 하나는 소재의 상입니다. 즉 하나의 계에서 다른 부분과 확실한 경계를 의미할 때 상이라 합니다. 이는 결정구조나 조성에 따라 구분합니다. 계내부에 균일한 영역, 즉 그 자체로 균질한 영역을 하나의 상이라 합니다. 그냥 간단하게 말해 같은 물리적, 화학적 성질을 가지고있는 것들만.. 더보기 합성(composite rate) 요약 물질들을 소재적으로 합치는 것으로 독립성분들의 양을 변화시켜 합성하는 방법과 조성을 변화시키는 합성하는 방법이 있다. 정의상 가정 계(system), 소재(material), 상(phase) 내용상 가정 고용체 인경우이다(세라믹 같은 경우는 합성하는게 의미가 없다._전이의 영향이 없다) 공식 많은 관계로 내용에서 확인 단위 % 응용 ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! 어떤 계안에 계를 구성하는 물질이 있다고 볼까요?그 물질들 한종류 한종류를 독립성분(component)이라 이름을 붙이겠습니다.이 독립성분들의 양을 변화시켜 합성하는 방법과 조성을 변화시키는 합성하는 방법이 있습니다. 이론적으로는 원자농도를 비교해야하지만, 실제 재작은 중량의 비로 할 것입니다.따.. 더보기 미세구조(microstructure) 요약 미세구조는 결정의 연속성에 따른 분류로써 결정질과 비정질으로 나눌때결정질은 단결정(single crystalline)과 다결정(ploy crystalline)으로 구분이 됩니다. 정의상 가정 결정(crystal), 결함(defect), Gibbs free energy 내용상 가정 공식 단위 응용 ↑파란 박스의 글자를 클릭하시면 가정과 응용으로 넘어 가실 수 있습니다!! 미세구조는 결정의 연속성에 따른 분류로써 결정질과 비정질으로 나눌때결정질은 단결정(single crystalline)과 다결정(ploy crystalline)으로 구분이 됩니다.비정질은 그냥 비정질(amorphous)로 봅니다. 단결정(single crystalline)은 한가지의 grain만 가지고 있스며 crystal로 0D와 1.. 더보기 이전 1 2 3 4 다음
