반도체 일상 5. 먼지

 대한민국 사람이라면 모를 수 없는 기업 삼성전자! 그 삼성전자를 뛰어넘는 TSMC! 한 번쯤은 들어봤을 법한 Intel! 이 기업들의 공통된 최대 고민은 다름 아닌 바로 '먼지'다.

 먼지가 한 번 생길 때마다 기업은 수십억 원 단위의 손실이 발생할 수 있다. 돈만 따지면 먼지는 마치 서울에 떨어지는 거대 운석과 다름없다. 이렇게 운석이 떨어지는데 누가 고민하지 않겠는가. 게다가 기업에서는 운석이 떨어지는 와중에도 반도체를 더 작고 촘촘하게 (아파트를 더 얇고 가냘프게) 만들어야 하니 고민이 더 깊어진다.

 먼지는 특별한 것이 아니다. 실제로 이불 털 때 휘날리거나 선반 위에 쌓여있는 그 먼지가 맞다. "그냥 공기청정기를 세게 틀어놓으면 안 되나요?"라고 물어볼 수 있겠지만, 이 먼지는 보통 공정 장비나 반도체 자체에서 나와 효과가 없다. 심하면 공기에 노출되는 것만으로도 자연 발생해버린다. 공기청정기로는 어떻게 할 수 없는 이 먼지들… 남은 방법은 하나다. 부지런히 청소를 자주 해서 쌓이는 먼지 자체를 없애버리는 것이다.

 하지만 우리는 개구쟁이 청개구리. 아무리 청소를 해도 생길 수밖에 없는 먼지를 만들어보자! 장비 부품을 오염시키거나 주요 공정을 이상하게 하는 건 티가 난다. 따라서 반도체 자체를 건드리는 게 현명해 보인다. 먼저 먼지가 될 수 있는 잘 떨어지는 물질을 찾는다. 보통 열팽창계수가 높은 아무 금속이나 선택하면 된다. 이제 이 금속이 외부로 드러나도록 반도체를 청소하는 공정의 시간을 조금 조절한다. 이렇게 하면 이 금속이 다음 공정에서 공기 중에 부유하며 먼지가 될 것이다.

 포스팅을 끝내기 전에 독자들을 걱정하는 마음에 한 가지만 더 언급하고자 한다. 밖에서 '먼지'라고 하면 못 알아들을 확률이 크므로 지적인 사람과 대화할 때는 'Defect'이라고 하자.